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多晶硅生產中產生的廢氣用什么設備處理
作者:景藍環?! 》⒉際奔洌?018-07-10  瀏覽次數:634

多晶硅的生產過程中會產生一定量的廢氣和殘夜,這些廢氣和殘夜必須要經過處理才能進行排放,不然就違反了環境?;し?。到底是用什么設備處理呢?下面一起來看看。


多晶硅是太陽能和微電子產業的關鍵原材料,隨著我國太陽能產業的快速發展,多晶硅的需求量也與日俱增。目前,多晶硅工藝技術空前活躍。主要有西門子法、冶金法、等離子法、硅烷法、流化床法、熔鹽電解法、無氯工藝技術等。西門子法是通過氣相沉積的方式生產柱狀多晶硅。為了提高原料利用率,在原基礎上采用閉環式生產工藝即改良西門子法。改良西門子工藝生產的多晶硅產能約占世界總產能的80%。


廢氣和殘液的處理:在多晶硅制備中有大量的廢氣和廢液產生,國內多數單位通常先用水洗水解,然后通過NaOH中和廢氣處理和殘液處理工序。


廢氣凈化:氯硅烷分離提純工序各精餾塔頂排放的含氯硅烷、氮氣的廢氣,及含氯硅烷、氫氣、氮氣、氯化氫的多晶硅還原爐置換吹掃氣和多晶硅還原爐事故排放氣等,被送進尾氣洗滌塔組,用水(鹽酸溶液)洗滌,廢氣中的氯硅烷與水發生以下反應而被除去:

SiHCl3+2H2O=SiO2+3HCl+H2

SiCl4+2H2O=SiO2+4HCl

SiH2Cl2+2H2O=SiO2+2HCl+H2


出尾氣處理塔頂含有氮氣和氫氣的廢氣經液封罐放空,出尾氣處理塔塔底含有SiO2固體的鹽酸溶液用泵送入工藝廢料處理工序。

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